テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)は、半導体製造においてフォトレジスト現像液として広く使用されています。フォトレジスト現像液では、Na^＋やNH₄⁺、K⁺などの微量陽イオンの管理が重要です。ここでは、TMAH、Na^＋、NH₄⁺およびK⁺の標準品を陽イオン分析用カラムIC YS-50を用いて分析を行いました。TMAHは1 ~ 100 mg/Lの範囲で良好な直線性を示しました。

Sample: 10 µL

1. 1.Na⁺ 2 mg/L
2. 2.NH₄⁺ 2mg/L
3. 3.K⁺ 2 mg/L
4. 4.Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) 50 mg/L