四甲基氢氧化铵（TMAH）广泛应用于半导体制造过程中的光刻胶显影液。对于光刻胶显影液而言，Na⁺、NH₄⁺、K⁺等痕量阳离子的控制至关重要。本实例采用阳离子分析色谱柱IC YS-50，对TMAH、Na⁺、NH₄⁺和K⁺标准品进行了分析。结果表明，TMAH在1 ~ 100 mg/L浓度范围内具有良好的线性关系。

Sample: 10 µL

1. 1.Na⁺ 2 mg/L
2. 2.NH₄⁺ 2mg/L
3. 3.K⁺ 2 mg/L
4. 4.Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) 50 mg/L